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產品分類
更新時間：2025-11-08 
瀏覽次數：105任何方向類型 TG-F 系列
使用油脂潤滑球軸承，用于小型、輕便和低成本的泵。抗沖擊設計使渦輪分子泵能夠安裝在移動設備或運動部件上。產品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號。
潤滑脂潤滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面
產品陣容
TG2400F
■ 任何方向
■ 緊湊的尺寸
■ 節能
■ 快速啟動
■ 帶排氣口快速關閉
■ 用于涌入空氣的耐用結構
■ 串行通信
※RS232C 串行接口
■ 通過安全標準NRTL/SEMI-S2/CE
應用
■ 半導體生產
■ 電子槍排氣、電離源排氣
■ FPD制造
■ 表面處理、表面改性
■ 各種電子元件的制造
■ 分析、檢測設備
■ 燈具生產、光學元件生產
■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究
■ 熱處理
■ 研究與開發
*如果排出腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用TG-M或TG系列。
Model | TG2400F | TG2400F-40 | |
Inlet flange | VG250/ISO-B250 | ||
Volume flow rate | N2 (L/s) | 2400 | |
N(with protective screen) (L/s) | 2300 | ||
H2 (L/s) | 1100 | ||
Max. compression ratio | N2 | 1×108 | |
H2 | 1.4×103 | ||
Base pressure | (Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
Max. throughput※1※2 | (sccm) | 900 | 1500 |
Startup time | (min) | 5-7 | |
Shutdown time | (min) | 15-18 | |
Max. backing pressure | (Pa/Torr) | 200/1.5 | |
Recommended backing vacuum pump | (L/min) | ≧500 | |
Position | Any orientation | ||
Weight (kg) | Air cooling Water cooling | 45 47 | |
Controller | TC2403 | TC2403-10※3 | |
*1 ： 使用1000L/min的前級真空泵時*
2 ： 因電源型號而異。
*3 ： TG2400F-40
[使用環境溫度]
確保您達到極限壓力的環境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環境溫度為10-32°C，水冷型允許環境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水最高溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。
[對應氣體]
一些使用氣體會使潤滑脂和內部零件變質。請聯系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。
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