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        我的位置:首頁  >  技術文章  >  TG2400M型日本大坂真空OSAKA VACUUM磁懸浮型渦輪分子泵北崎熱賣

        TG2400M型日本大坂真空OSAKA VACUUM磁懸浮型渦輪分子泵北崎熱賣

        更新時間:2025-11-07      瀏覽次數:130

        磁懸浮型TG-M系列

        使用磁懸浮軸承可實現無油排氣、任何定向安裝以及更長的維護周期。產品陣容提供 340 L/s 至 2400 L/s 的型號。

        磁懸浮式渦輪分子泵的截面

        ターボ分子ポンプ斷面図(磁気軸受タイプ)

        TG2400M

        ■任何方向

        ■緊湊的尺寸

        ■節能

        ■快速啟動和停止

        ■維修電話

        ■無振動

        ■型號無聯軸器

        ■自動校準

        ■高吞吐量

        ■轉速控制

        ■串行通信

        ■NRTL SEMI-S2 CE安全標準認證

        應用

        ■ 半導體生產

        ■ 電子槍排氣、電離源排氣

        ■ FPD制造

        ■ 表面處理、表面改性

        ■ 各種電子元件的制造

        ■ 分析、檢測設備

        ■ 燈具生產、光學元件生產

        ■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究
        ■ 熱處理

        ■ 研究與開發


        Inlet flange
        VG250
        ISO-B250
        Volume flow rate
        N2 (L/s)
        2400
        N(with protective
        screen) (L/s)
        2300
        H2 (L/s)
        1100
        Max. compression ratio
        N2
        1×108
        H2
        1.5×103
        Base pressure
        VG?ISO-B (Pa)
        <1×10-6
        VG?ISO-B(Torr)
        <7.5×10-9
        Max. throughput※1
        N2 (sccm)
        3000
        Startup time
        (min)
        4~5
        Shutdown time
        (min)
        4~5
        Max. backing pressure
        (Pa / Torr)
        200 / 1.5 
        Recommended backing
        vacuum pump
        (L/min)
        ≧500
        Position
        Any orientation
        Weight (kg)  VG?ISO-B
        34 / 42
        Controller
        TC010MA
        Special specifications
        *Contact our sales representative for more information.
        -Chemical-use-Thermal insulation TG-MI

        *1 : 使用1000L/min的前級真空泵時。

        [使用環境溫度]

        確保您達到極限壓力的環境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環境溫度為10-32°C,水冷型允許環境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水最高溫度為30°C,冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。

        [對應氣體]

        某些類型的要排出的氣體可能會損壞泵。
        請聯系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。



        電話:TEL

        86-010-67868591

        地址:ADDRESS

        朝陽區住邦2000商務樓A座1號樓406B

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