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日本ULVAC愛發科多級羅茨型干泵HR60北崎熱賣

更新時間：2025-08-19

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多級羅茨型干泵

多級羅茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液體的機械真空泵。
在FPD、電子和半導體行業等領域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高良率和可維護性。代表性的泵之一是羅茨式干真空泵。

多級羅茨式干真空泵在稱為外殼的盒子內有兩個三葉轉子，它們通過一對齒輪以相同頻率沿相反方向旋轉。轉子彼此不接觸，或者轉子與殼體不接觸，并且在保持小間隙的同時旋轉以傳送和壓縮氣體。轉子具有多級結構，將其壓縮至大氣壓，并將其排放到大氣中。轉子外殼內不使用油或其他密封液體，可實現清潔排氣。齒輪和軸承使用油進行潤滑，但設計了密封結構以防止油進入殼體。

通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

特點

高溫區域均熱化
實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出。
“Model:UR"可比“Model:HR"更加高溫化。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控。

用途

CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等

規格

型號

HR60

HR90

HR300

HR600

HR1200

使用泵

干式真空泵

HR60

HR90

HR60

HR90

機械增壓泵

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

最大
排氣速度

50Hz

m³/h
(L/min)

62(1030)

112(1860)

359(5,980)

653(10,900)

1,012(16,900)

60Hz

m³/h
(L/min)

80(1333)

126(2100)

365(6,080)

701(11,700)

1,051(17,500)

到達壓力

0.67

最大排氣壓力
（吸入圧力）

大氣壓 *1

最大排氣壓力
（吸入圧力）

1~ 大氣壓

吸氣口 (CE規格)

VG50(KF50)

VG80(KF50)

VG80(KF80)

VG100(KF100)

排氣口

KF40

質量

180

245

275

370

420

電源

三相

VAC
(Hz)

200(50/60), 220(60)

電流值

穩定時

7.1
(at 200V)

11.2
(at 200V)

7.8
(at 200V)

12.9
(at 200V)

15.4
(at 200V)

最大值

7.3
(at 200V)

11.8
(at 200V)

8.1
(at 200V)

13.8
(at 200V)

18.9
(at 200V)

冷卻水一次圧力

MPa

0.1~0.3

冷卻水出入口壓差

MPa

>0.1

冷卻水流量

L/min

>5.0

吹掃氣

一次壓力

MPa

0.1~0.5

二次壓力

MPa

0.05~0.1

N2吹掃

軸

SLM

氣鎮

SLM

0~45

*1 HR300、HR600、HR1200請勿在200Pa以上的吸入壓力下連續運轉。

尺寸圖

HR60	HR90
HR180	HR300
HR600	HR1200

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