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        日本ULVAC愛發科耐腐蝕性NRL180A干式真空泵北崎熱賣

        更新時間:2025-06-12      瀏覽次數:396

        日本ULVAC愛發科耐腐蝕性NRL180A干式真空泵北崎熱賣

          NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

              特長
            1. NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。


            2. 低噪音、低振動


            3. 優良的耐腐蝕性


            4. 標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。


            5. 選購件


            6. 可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。



            7. 用途
            8. •  活性氣體(CVD、刻蝕等)。


            9. •  排出非活性氣體(濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)。


            10. •  用于產生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)


            11. •  作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)。


            12. •  冷凍干燥等水蒸氣排氣。


        • 技術參數

        • 外形尺寸圖

        • 抽氣速率曲線

        日本ULVAC愛發科耐腐蝕性NRL180A干式真空泵北崎熱賣


        * 1  極限壓力是氮氣(密封氣體)在5.0 SLM時的值。

        * 2  無結露。

        * 3  用調節閥所調整的壓力表的值。

        * 4  氮氣(密封氣體)流量5.0 SLM是固定值。


        電話:TEL

        86-010-67868591

        地址:ADDRESS

        朝陽區住邦2000商務樓A座1號樓406B

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